ASML 在电子束检测领域领先应用材料公司

阿斯麦 (纳斯达克股票代码：ASML) 是半导体光刻系统的主要供应商和 EUV 系统的唯一供应商。 根据我们题为“亚 100 纳米光刻：市场分析和战略问题”，ASML 拥有：

• 100%的份额 EUV 光刻领域
• 97% 的 Immersion 193nm DUV 光刻领域份额
• 83% 的 248nm DUV 光刻部门

但 ASML 还销售带有光刻工具的电子束计量和检测系统，使客户能够测量他们实际印刷在晶圆上的图案，以查看它们与预期图案的匹配程度。

这些检测系统在数十亿个印刷特征中定位和分析单个芯片缺陷，扩展了过程控制的范围。 ASML 在计量、检测和过程控制市场的两个部分销售其产品：

• eScan 430 是其最新的单光束检测 系统，在逻辑、DRAM 和 3D NAND 的各种应用程序中提供超过 35% 的吞吐量改进。

• 其高分辨率电子束计量系统 eP6 提供 1 nm 分辨率和大视场功能。 它可以生成大量关键尺寸（“CD”）和边缘放置误差（“EPE”）数据，并具有客户监控和控制所需的质量水平。

ASML 于 2016 年进入市场，当时它以 31 亿美元的价格收购了 Hermes Microvision Inc. (HMI)，后者是一家为全球晶圆厂和内存晶圆厂提供电子束检测工具的供应商。

2022 年，ASML 的收入为 6.596 亿欧元，占其总收入 154 亿欧元的 4.3%。

电子束图案化晶圆检测市场

应用材料公司 (AMAT) 于 2022 年 12 月 14 日宣布，“冷场发射”(CFE) 技术电子束成像系统可商用。 新闻稿指出：

“芯片制造商使用 eBeam 技术来识别和表征那些太小而光学系统无法看到的缺陷。 随着芯片制造商使用 EUV 光刻技术突破 2D 逻辑和 DRAM 缩放的极限，并过渡到复杂的 3D 架构，如 GAA 逻辑晶体管和 3D NAND 存储器，寻找表面和埋藏缺陷变得越来越具有挑战性。”

AMAT 为其“eBeam 技术和产品发布”大张旗鼓地提供了一份 30 页的技术和产品介绍，该介绍由集团副总裁兼成像和过程控制集团总经理 Keith Wells 撰写。 它还包括两个视频的网络广播。

AMAT 为其电子束业务提供了 2021 年的收入，但在我们题为“2022 年版的报告中VLSI 制造中的计量、检测和过程控制”，如图 1 所示，ASML 实际上是该行业的市场份额领导者，领先 AMAT 近 300 个基点。

图一

为什么客户会从 AMAT 而不是 ASML 购买？

我在上面提到的 AMAT 的新闻稿评论很能说明问题——“使用 EUV 光刻技术。” 正如我在上面的要点中指出的那样，ASML 在 EUV 光刻系统中拥有 100% 的份额，并且该公司将其检测系统与其 EUV 系统配对。

这提出了一个重要问题“当 ASML 制造与其 EUV 光刻系统相匹配的电子束系统时，为什么代工厂、逻辑或存储器 EUV 客户会从 AMAT 购买不一致的电子束检测系统？”

ASML 的产品不断发展

AMAT 的“介绍”没有考虑 ASML 持续不断的电子束产品演进。 根据 ASML 的 10-K：

“我们还继续推进我们的计量和检测路线图。 例如，我们的第一代 25 光束 (5×5) 多光束系统 HMI eScan 1100 多光束系统已发货供客户评估。

2022 年，我们还交付了第一台 eScan460 系统，这是我们的下一代单光束检测系统。”

AMAT 通过忽视竞争对手来炒作产品的历史

2021 年 3 月 16 日，应用材料公司在大张旗鼓中公布了他们所谓的“过程控制方面的重大创新，该创新利用大数据和人工智能技术帮助半导体制造商加速节点开发、加快创收时间并在整个生命周期内赚取更多利润”一个节点。”

我在 2021 年 3 月 17 日的 Seeking Alpha 文章中讨论了之前的发布，该文章标题为“KLA 在应用材料公司推出前一年推出了 4 种 AI 计量/检测系统”。

根据那篇文章中的项目符号：

• 应用材料公司推出了利用人工智能的“重大创新”计量/检测系统。
• 然而，KLA 在一年前推出了四种利用人工智能的计量/检测系统。
• KLA 占据主导地位，在全球领域的份额价值是 Applied Materials 的 4.9 倍，在光学检测领域的份额为 4.6 倍。

换句话说，去年应用材料大肆宣传其“新”技术，却忽略了指出KLA（KLAC）已经以其“更新”技术抢占了AMAT。 重要的是，AMAT 忽略了指出其“电子束技术”并未获得与 KLAC 的“光学技术”竞争的份额。 最后，在电子束晶圆检测领域，AMAT 忽略了其市场份额低于 ASML 的说法，并在 2021 年走低

事实上，AMAT 在 2022 年 12 月的公告中继续比较光学与电子束。 事实上，我们上述 2022 年版报告中的数据显示，KLAC 凭借其在 AMAT 电子束检测中占主导地位的光学检测增加了其在检测系统中的份额，如图 2 所示。

图二

投资者外卖

虽然 ASML 在检测领域从 AMAT 手中夺取份额并在光刻领域占据主导地位，但该公司面临着几个不利因素：

慢车道上的快车道

由于供应链问题，ASML 的 Fast Track 出货传奇仍在继续。 我在 2022 年 4 月 26 日发表的题为“ASML：剖析令人难以置信的 2022 年第一季度业绩不佳和收益电话”的文章中指出，ASML 正在出货 不完整的 正如我在文章中解释的那样，面向客户的 EUV 系统：

“由于 EUV 系统的复杂性，ASML 有一种独特的方法来对 EUV 销售与发货进行分类。ASML 使用术语“快速发货”，这是为了满足客户尽快将系统投入生产的愿望。通过在其工厂跳过其中一些测试，ASML 可以缩短周期时间。最终测试和正式验收随后在客户方进行，届时 ASML 将确认收入。”

当前的财报电话会议几乎没有讨论任何内容，因此最新的细节来自 ASML 在 2023 年 1 月发布的 2022 年第四季度财报电话会议。当时，首席财务官 Roger Dassen 表示，但只有在分析师提问时才表示：

“谢谢你，迪迪埃。 谢谢你的问题。 我认为这确实有助于澄清这一点。 所以你看到的是我们有 – 到 2022 年底，我们的快速出货量为 31 亿欧元。因此，该收入将在 2023 年记录。但是，我们还假设类似的金额将从 22 年到 23 年——从 23 年到 24 年。 迪迪埃，这意味着我们给你的指导或 2022 年超过 25% 的增长，事实上，将快速发货效应视为中性，对吧？ 所以我们假设，这将是中性的，即 23 年的金额，即 31 亿欧元，我们还预计将这一年留到 24 年。 所以它被快速发货中和了，所以这就是看待它的方式。

然后，一旦我们弄清楚了，当然，我们会与您分享，我们也会向您澄清这意味着什么。 当然，如果我们能够在这些快速发货的发货后再次确认收入，那将是我们提到的超过 25% 的收入增长之外的额外收入。”

最后一句话对于这一论点很重要，即 31 亿欧元的快速出货量不计入 ASML 2023 年预期的 25% 增长。但这家公司不透明的透明度很能说明问题。

预订量暴跌

ASML 的新订单在 2022 年第二季度下降了 40.6%。这表明其客户的市场前景较为保守，全球外包半导体公司不太可能很快扩大资本支出。

ASML 在本季度报告称，如表 1 所示，内存预订量为：

ASML 能否满足其 2023 年同比增长 25% 的收入指南？

2022 年，ASML 的系统收入为 159 亿美元，较 2021 年下降 1.8%。ASML 的表现逊于全球 WFE 8.9% 的增长。 到 2023 年，我预测全球 WFE 将发生 -21% 的变化，我在 2022 年 7 月 11 日的 Seeking Alpha 文章中首次讨论了这一点，该文章题为“评估我 2021 年对 2023 年可能发生的半导体设备崩溃影响应用材料的呼吁”。 LRCX 和 SEMI 都预测增长 -22%。 然而 ASML 预计收入增长 25%。 它还有待观察。

这还有待观察，但我没有屏住呼吸。 有太多宏观因素需要应对，特别是对于与扩张融资需求相关的科技公司而言。 0% 利率的时代已经结束，习惯于获得免费资金的科技公司在可预见的未来将无法获得。 在最近的银行业危机之后，银行将受到更多监管，这将损害贷款。 由于 ASML 的微观逆风和宏观因素，我对 ASML 的评级为持有。